微觀裝置的制造及其處理技術
  • 一種復雜構型納米馬達的制備方法與流程
    本發明屬于納米,尤其涉及一種復雜構型納米馬達的制備方法。納米馬達是指能夠將化學能、光能、聲能或其他形式的能量轉化為機械運動并完成復雜任務的納米系統,通常也被稱為納米機器人。它與傳統上的處于熱力學平衡態、只做布朗運動的膠體顆粒有本質區別。它們的運動和相互作用可比擬于自然界中的細胞或...
  • 一種晶圓級三層結構的封裝方法與流程
    本發明涉及半導體制造及微電子器件封裝,更具體地,涉及一種晶圓級三層結構的封裝方法。隨著高集成度、高性能、微型化的需求越來越大,MEMS器件單顆進行封裝的成本越來越大,而晶圓級封裝,可以大大地提高效率,降低成本。在封裝的同時,通過垂向信號引出,可以有效降低電信號互聯引入的寄生電容和減...
  • 一種壓阻式雙軸運動傳感器及其制作方法與流程
    本申請涉及微機電系統,具體涉及一種壓阻式雙軸運動傳感器及其制作方法。微機電系統(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發...
  • 一種感測膜和微機電裝置的制作方法
    本發明涉及一種微機電,尤其涉及一種感測膜和微機電裝置。微機電裝置包括的電容式傳感器結構一般為一感測膜搭配一背極,形成兩平行板電容板結構以感測振動或壓力變化。其中,感測膜的材料特性決定組件感度性能,但于半導體加工過程所產生的熱殘留應力無法避免。而現有的制程技術仍無法精準的控制薄膜應力...
  • 選擇性刻蝕方法及納米針尖結構的制備方法與流程
    本發明涉及半導體,具體而言,涉及一種選擇性刻蝕方法及納米針尖結構的制備方法。納米尺度針尖應用非常廣泛,例如掃描隧道顯微鏡中的隧道掃描電鏡的STM探針、醫學中的細胞微操作、特種制造業中的微加工等領域,另外納米針尖陣列可以增加某些光學探測器的比表面積,增加敏感度。納米針尖的制備常采用電...
  • 微流體致動器的制作方法
    本案關于一種致動器,尤指一種使用微機電半導體薄膜制作的微流體致動器?!尽磕壳坝诟黝I域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業,產品均朝精致化及微小化方向發展,其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的流體致動器為其關鍵技術。隨著科技的日新月異,流體輸送結構的應用上亦愈來愈多元化,...
  • 納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法與流程
    本發明涉及納米,具體而言,涉及一種納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法。納米森林結構因具有大表體比、多孔隙等特殊表面效應而被廣泛應用在生物檢測以及光電探測等器件上,其直接影響到器件的工作性能、制備成本以及應用范圍。一種制備工藝簡單、特性及形貌可控的納米森林結構可以有效提高...
  • 多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微針與流程
    本發明屬于生物傳感,涉及一種SERS活性微針的制備方法及活性微針,尤其涉及一種多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微針。2002年任等報道了基于針灸針構建鈣離子傳感針的電化學檢測方法。2015年起,ZhangGJ等先后報道了基于針灸針構建多巴胺、5-羥色胺和NO等傳感針的...
  • 一種在微型柱子表面上構造單內凹結構的方法與流程
    本發明屬于材料合成,具體涉及一種在微型柱子表面上構造單內凹結構的方法。在表界面浸潤領域,所謂的單內凹結構又叫T形結構或者蘑菇頭結構,即結構頂部與底部之間存在拐角,當液滴放在該結構表面時,液面呈現懸掛在內凹結構間而非陷入凹坑的狀態。因此,具有微型內凹結構的粗糙表面,常常具有很好的排斥...
  • 一種壓力傳感器的陶瓷絕緣層及其制備方法與流程
    本申請涉及電子,尤其涉及一種壓力傳感器的陶瓷絕緣層及其制備方法。目前為了使壓力傳感器具有絕緣性,在壓力傳感器的彈性體和應變片之間涂一層或多層膠把彈性體和應變計粘接在一起,利用膠的絕緣性使得應變計和彈性體不導通。但膠層涂的太薄,壓力傳感器的絕緣強度指標就會降低,膠層涂的太厚,壓力傳感...
  • 具有覆蓋結構的MEMS器件結構的制作方法
    相關申請的交叉引用本申請要求于2013年3月11日提交的名稱為“MEMSDeviceStructurewithaCappingStructure”的美國臨時專利申請第61/775,931號的利益,其全部內容結合于此作為參考。本發明涉及半導體,更具體地,涉及具有覆蓋結構的...
  • 一種MEMS器件及制備方法、電子裝置與流程
    本發明涉及半導體,具體而言涉及一種MEMS器件及制備方法、電子裝置。隨著半導體技術的不斷發展,在傳感器(motionsensor)類產品的市場上,智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術,并且隨著技術的更新,這類傳動傳感器產品的發展方向是規模...
  • 壓電型微機電致動器裝置和集成微機電致動器裝置的設備的制作方法
    本申請要求2017年11月27日提交的意大利專利申請第102017000135836號的優先權,其內容在法律允許的最大范圍內通過引證引入本文。本文描述的技術涉及基于壓電技術的致動器裝置以及包括致動器裝置的設備,特別是揚聲器。具體地,在下文中將參考通過MEMS(微機電系統)技術實現的致動器。...
  • 半導體結構及其制造方法與流程
    本公開涉及半導體器件制造領域,更具體地,涉及一種半導體結構及其制造方法。隨著微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)技術的發展,利用MEMS技術制造的加速度傳感器、陀螺儀、角速度傳感器等精度較高的器件已經廣泛地應用到了汽車領域和消費電子的領域中...
  • 一種MEMS晶圓級封裝結構及方法與流程
    本發明涉及半導體封裝,特別是涉及一種MEMS晶圓級封裝結構及方法。微機電系統(MicroElectro-MechanicalSystems,MEMS)涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、...
  • 傳感器陣列系統及制造方法與流程
    本申請涉及傳感器領域,具體而言,涉及一種傳感器陣列系統及制造方法。傳感器陣列是一組傳感器,可以通過某種幾何圖案部署,用于收集和處理電磁或聲學信號。相對單一傳感器,傳感器陣列的優點在于,陣列為觀測增加了新的維度,有助于獲取更多參數并提高性能。針對檢測對象的表面形狀位置不同,為了提高接觸面交互...
  • 基于電磁激勵單晶硅諧振梁的熱電變換器結構及制造方法與流程
    本發明涉及一種熱電變換器結構及制造方法,特別是基于電磁激勵單晶硅諧振梁的熱電變換器結構及制造方法,屬于微電子機械系統(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)領域。交流電壓(或電流)基準是國家交流電壓(或電流)量值傳遞中的基準計量器具,擔負著我國交流電壓...
  • 具有對由于諸如正交分量之類的擾動力所致的誤差補償的微機電設備的制作方法
    本公開涉及具有由于由諸如正交分量之類的擾動力所致的的誤差補償的微機電設備。如已知的,MEMS(微機電系統)由于它們的小尺寸、與消費者應用兼容的成本、以及它們與日俱增的可靠性而以日益廣泛的方式被用在不同的應用中。特別是,利用這一技術,制造了諸如微集成的陀螺儀和機電振蕩器之類的慣性傳感...
  • 薄膜結構的形成方法、聲電換能器件及其形成方法與流程
    本發明涉及半導體制造技術,具體涉及一種薄膜結構的形成方法、聲電換能器件及其形成方法。聲電換能器用于進行聲信號和電信號之間的轉換。麥克風是將聲波(即,聲信號)轉換成電信號的聲電換能器。揚聲器則是將電信號轉換為聲信號的聲電換能器?;谖C電系統(Micro-Electro-Mechanical...
  • 激光鍵合方法和具有激光鍵合連接部的微機械設備與流程
    本發明涉及一種具有帶著MEMS鍵合框的MEMS構件和帶著罩鍵合框的罩構件的微機械設備,其中,MEMS構件和罩構件形成至少一個共同的空腔,其中,MEMS鍵合框和罩鍵合框在鍵合面上彼此貼靠。在MEMS元件中,例如在轉速傳感器、加速度傳感器、組合元件中,用于按照規定的功能的MEMS元件針對環境影...
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